1.气体概述
产 品 | 化 学 名 称 | 英 文 名 称 | 代 名 称 | 外观 、 嗅 觉 及 状 态 | 其它 |
SiH4 | 硅烷 | Silane | 单硅烷 | 无色、无味气体 | 极易燃烧 |
NF3 |
三氟化氮 | Nitrogen Trifluoride |
/ | 无色无味气体， 有时浓度 很低的不纯气体会有刺鼻 的霉味。 | 高温下分解出腐蚀性强的F2 |
H2 |
氢气 | Hydrogen |
/ |
无毒、无色、无味气体 |
易燃气体 |
PH3 |
磷化氢 | Nitrogen |
磷烷 |
无色、有臭鱼味道 |
剧毒 |
B2H6 | 硼化氢 | Diborane | 硼烷 | 无色、有特臭味道 | 剧毒 |
NH3 | 氨气 | Ammonia |
| 无色，有强烈刺激气味（尿味） | 毒性 |
HBr | 溴化氢 | Hydrogen bromide |
| 无色，有刺鼻气味（辛辣味） | 毒性 |
产 品 | 化 学 名 称 | 英 文 名 称 | 代 名 称 | 外观 、 嗅 觉 及 状 态 | 其它 |
CL2 | 氯气 |
Chlorine |
| 浅黄色气体，刺激性农药味（腋窝臭） | 剧毒 |
BCL3 | 三氯化硼 | Boron trichloride |
| 无色，有刺鼻气味（辛辣味） | 毒性 |
CLF3 | 三氟化氯 | Chlorine trifluoride |
| 淡黄色气体，帶有甜味的刺激性味道 | 剧毒
|
WF6 | 六氟化钨 | Tungsten hexafluoride |
| 无色、有强烈、刺鼻、窒息性、酸性气味 | 毒性 |
SIH2CL2 | 二氯硅烷 | Dichlorosilane |
| 无色、有强烈的刺鼻味道 | 毒性，极易燃烧 |
O2 | 氧气 | Oxygen |
| 无色、无味气体 | 助燃气体 |
2.主要危害
SiH4：在室温下就会在空气中自燃，该气体通常与空气接触会引起燃烧并
放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。
NF3：遇水或潮气产生腐蚀性HF，高温下分解出非常活泼的氟。它与周围 的其它物质反应生成有毒的氟化物。
H2：易燃易爆的气体，和氟、氯、氧、一氧化碳以及空气混合均有爆炸的 危险。
PH3：室温条件下空气中自燃。
B2H6：空气中能自燃。
NH3:易燃，能与空气混合形成爆炸性气体,低浓度氨对粘膜有刺激作用，高浓度可造成组织溶解坏死。对水生生物非常有毒。
Hbr：无色，在潮湿气体中为白色气雾的刺激性气体。可刺激呼吸道。
CL2：吸入可引起化学性肺炎和肺水肿，可能致命。对眼睛、皮肤与呼吸系统有腐蚀性和刺激性。本品为氧化剂，与可燃物接触可能起火或爆炸，能与许多化学品起剧烈、爆炸性反应。与水反应形成腐蚀性的盐酸和次氯酸。对水生生物有极高毒性。
CLF3：强氧化剂和氟化剂。无色，在潮湿气体中为白色气雾。有毒，有强腐蚀性。
BCL3：不可燃、有毒、腐蚀性的存储在气瓶内液化压缩气体。气体无色，但当它接触潮湿空气时会形成白雾。三氯化硼遇潮气水解为盐酸和硼酸。吸入或皮肤接触会造成严重的化学灼伤。WF6：空气中能自燃。
SIH2CL2 :吸入致命；极易燃气体；压力下液化气体，如加热可爆炸；可严重的皮肤灼伤和眼睛损伤，可灼伤呼吸道。
3.操作注意事项
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程，需要穿戴：(1)阻燃服/防火服; (2)防穿刺安全鞋; (3)洁净手套/；(4)自助式呼吸器 SCBA。
4.急救措施
产品 | 皮肤接触 | 眼睛接触 | 吸入 |
SiH4 | 用大量的水冲洗最少15分 钟。脱掉已暴露在硅烷中 或被污染的衣服，小心不 要接触到眼睛。如果患者 有持续的刺激感或其他进 一步的健康影响需立即进 行医疗处理。 |
立即用水冲洗最少15 分钟，水流不要太 快，同时翻开眼睑。 使受难者为“O形眼， 立即寻求眼科处理。 |
迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。 |
NF3 |
脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。 | 刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 | 迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 人工呼吸， |
H2 |
/ |
/ | 迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。 |
NH3 |
轻柔地用温水洗眼， 并立即进行医务处理。 |
刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 。 | 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。 |
产品 | 皮肤接触 | 眼睛接触 | 吸入 |
CLF3 |
脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。 |
刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 | 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。 |
BCL3 |
脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。 |
刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 。 | 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。 |
WF6 |
脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。 |
刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 | 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。 |
SIH2CL2 |
脱掉被污染的衣服和鞋， 用大量温水冲洗几分钟， 并立即进行药物处理。 |
刺激和/或灼伤眼角 膜，造成视觉损伤或 失明。立即用水冲洗 至少15分钟，并迅速 进行医务处理。 。 | 迅速脱离现场至空气新鲜处。 保持呼吸道通畅。如呼吸困 难，给输氧，如呼吸停止，立 即进行人工呼吸，但不要进行 嘴对嘴的人工呼吸。 |
产品 | 皮肤接触 | 眼睛接触 | 吸入 |
LIN 液氮 |
如怀疑冻伤，大量温水清 洗，并及时进行医疗处理 |
/ | 迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。 |
LAR 液氮液氩 |
如怀疑冻伤，大量温水清 洗，并及时进行医疗处理 |
/ | 迅速脱离现场至空气新 鲜处。保持呼吸道通畅。 如呼吸困难，给输氧， 如呼吸停止，立即进行 医疗处理。 |
5.消防措施
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SiH4 |
消防人员须佩戴防毒面具、穿全身消防服，在上风向灭火切断气源。若不能切 断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水 保持火场容器冷却，直至灭火结束。灭火剂：水、泡沫、干粉、二氧化碳。 |
NF3 | 水或二氧化碳可以帮助冷却现场，限制活性热分解产物(如：氟)的形成。 从泄漏区疏散所有人。如果可能且没有危险，从火场移走NF3钢瓶。如有 可能，切断通往火场的气源。用水冷却钢瓶直到火被扑灭。灭火剂：二氧 化碳或水。 |
H2 | 从泄漏区疏散所有人。立即从最远的距离喷水，冷却钢瓶。不要去灭火 。 如 有火焰偶然被熄灭，可能会发生爆炸或重燃。如没有危险，一边喷水，一边切 断气源。灭火剂：CO2、干粉、水流或水雾。 |
NH3 | 喷水冷却钢瓶直到火被扑灭，用水减少有害蒸汽。 |
6.泄露紧急处理
泄放及泄漏时应采取的步骤：
立即撤离受影响的区域，对该区域加强通风，检测泄露气体含量。
使用适当的防护设备(自助式呼吸器SCBA或防火服)。如有可能，切
断气源并将泄漏的钢瓶隔离。若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏， 则需与供应商联系。若泄漏来自用户系统，应关掉钢瓶阀门，在修复 前一定要泄压并用惰性气体吹扫。
7.储存注意事项
在通风良好、安全且不受天气影响的地方竖直存储，存储 温度不可高于125F(52oC),存储区域内不可混存并远离频繁出 入处和紧急出口。
对还未使用的气瓶应保持保护阀盖和输出阀的密封完好。 将空瓶与满瓶分开存放。
避免过量存储和存储时间过长。使用先进先出系统，保持
良好的存储记录。
8.运输注意事项
一定不要拉、滚动放倒或滑动钢瓶，不要试图抓住气瓶的 盖子来拎起它。保证钢瓶在使用的全过程中为固定状态。
搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及 附件破损。配备相应品种和数量的 消防器材及泄漏应急处理设备。缓 慢平稳的滚动钢瓶，距离较远时请 使用手推车。
9.供气系统安全措施
气柜安全配置表（仅摘录相关安全选项） |
过流开关Excess Flow Switch Excess Flow Switch es / one | yes | 过流切断，防止泄露 |
火焰探测器 Fire(UV) Detector Fire(UV) Detector es / one | yes | 明火切断 |
高温报警 High Temp Sensor High Temp Sensor es / one | yes | 高温报警 |
喷淋头 Sprinkler Sprinkler es / one | yes | 高温自动喷水降温 |
紧急关端阀 ESO Valve ESO Valve es / one | No | 更接近气源瓶阀 |
高压检漏High Pressure Line High Pressure Line es / one | yes | 高压气体均配，防止泄露 |
钢瓶阀关断机械手 Valve Shutter Valve Shutter es / one | No | 气动关断瓶阀 |
CGA锁紧装置 CGA auto guard 锁紧装置 CGA auto guard es / one | yes | 防止误触碰供气气瓶 |
图 DRY SCRUBBER 外观图
特点：
• 设计处理效率高
• 排放浓度满足国际通行排放标准
• 常温下操作，安全系数高
• Bypass 旁路系统确保安全
• 维修更换时间短
• 操作简单
• 无固废、无污水产生
• 运行成本较低
• 拥有成本较低
适用工艺：
• Etching
• Ion Implantation
• LP/PE CVD
• 气瓶柜
• …
处理气体：
ClF3, F2, HF, BCl3, Cl2, F2, HBr, HF, SiCl4, SiF4, NH3, SiH2Cl2, SiH4 …
气体项目 | 特性 | TLV or LEL |
SiH4 | 燃、毒 | 5 ppm |
SIH2CL2 | 燃、毒 | 2ppm |
PH3 | 燃、毒 | 0.3 ppm |
H2 | 燃 | 4% (爆炸下限值) |
CL2 | 毒，腐蚀 | 0.5PPM |
BCL3 | 毒，腐蚀 | 2PPM |
HBr | 毒，腐蚀 | 2PPM |
WF6 | 毒，腐蚀 | 3ppm考虑 |
CLF3 | 毒，腐蚀 | 0.1PPM |
NF3 | 毒，腐蚀 | 10PPM |
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以上为报警设定值，
其中氧气1段报警值19.5%，二段报警值18.5%
氧气1段报警值21.5%，二段报警值23.5%（高报富氧侦测）
氢气1段报警值100PPM，二段报警值200PPM（远小于LEL）
毒性气体1段报警值50%TLV，二段报警值100%TLV，或者高于上诉标准
一段报警黄灯亮，二段报警红灯亮，并发出蜂鸣声。同时切断气体供应。
黄灯状态下是没有危险的，请不用恐慌，但是必须引起注意。
