设备名称：涂胶机（SUSS-1）

设备型号：LabSpin6 TT

设备厂家：SUSS

设备简介：

SUSS LabSpin6 是德国SUSS MicroTec公司生产的高精度涂胶设备，适用于半导体及微电子制造领域。胶厚均匀性（误差小于±5nm）。

用途：涂胶，适用于150mm以下晶圆表面光刻胶涂覆，最大转速10000rpm。仅支持酚醛树脂类（常用）光刻胶。

性能指标：

1）转速范围：50 - 8,000rpm

2）转速加速度：4000rpm/s

3）尺寸规格：支持6寸及以下晶圆与碎片

设备负责人及联系方式：  许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn