设备名称：热板（Sawatec-1）

设备型号：Sawatec HP-200

设备厂家：Sawatec

设备简介：

SAWATEC HP-200热板是一款专为半导体光刻、MEMS等工艺设计的高精度加热设备，主要用于前烘和后烘工艺。其温度范围可达室温至250°C，热板表面覆盖安全玻璃盖板，便于清洁且降低维护成本，适用于实验室、研究所及试产项目。

用途：烘烤，固化等。

性能指标：

1）温度范围：室温-250℃

2）控温精度：+/- 1.0°C at 100°C

3）尺寸规格：支持8寸及以下晶圆与碎片

设备负责人及联系方式：  许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn