设备名称：热板（Sawatec-1）

设备厂家：Sawatec

设备简介：

SAWATEC HP-200热板是一款专为半导体光刻、MEMS等工艺设计的高精度加热设备，主要用于前烘和后烘工艺，适用于实验室、研究所及试产项目。

用途：烘烤，固化等。

性能指标：

      1）温度范围：室温-250℃

     2）控温精度：±1.0°C @ 100°C

    3）尺寸规格：支持8寸及以下晶圆与碎片

设备负责人及联系方式：  许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn