设备名称：热板（Suss）

设备型号：SUSS HP8TT

设备厂家：SUSS

设备简介：

SUSS HP8TT热板是德国SUSS MicroTec公司推出的实验室级加热设备，专为半导体研发和小规模生产设计。适用于光刻胶烘焙、薄膜固化等精密工艺。

用途：烘烤。

性能指标：

1）温度范围：60℃ - 250℃

2）具备接近式烘烤功能

3）尺寸规格：支持8寸及以下晶圆与碎片

设备负责人及联系方式：  许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn