设备名称：等离子清洗机（二）
设备型号：Striper-100
设备厂家：北京芯微诺达
设备简介：Striper-100是一台射频（RF）气体等离子体反应刻蚀机（RIE），支持批量晶圆及异形样品的清洗、刻蚀与表面改性，可接入多种工艺气体与真空泵，广泛应用于半导体、LED、MEMS 与生命科学领域。
用途：Striper-100等离子清洗机主要用于芯片生产制备过程中，对晶圆进行表面有机污染物清洁、表面活化改性、打底膜、光刻胶灰化、有机、二维材料刻蚀等。
技术指标：
1）样片尺寸：4英寸样品及以下；Open Load样品取放
2）工艺气体：O2，Ar两路工艺气体。
3）工艺性能：可满足PR、PI、有机物刻蚀工艺，以及适用性去胶功能
设备负责人及联系方式：
赵锐超 15803221403 zhaoruichao@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn
