设备名称：场发射电子显微镜

设备型号：Zeiss GeminiSEM 560

设备厂家：德国蔡司

设备简介：GeminiSEM 560是采用蔡司最新的Gemini III镜筒技术，保障了在1kV及更低的加速电压下仍有高的信噪比和高分辨率，搭配Nano-twin 物镜，有效提高镜筒内探测器的信号收集效率，广泛适用于半导体、陶瓷、金属、聚合物、无机非金属等各种材料样品以及生命科学样品（不含水）；配有有效面积60mm2能谱仪，可进行样品元素的定性定量能谱分析。

用途：纳米尺度超高分辨成像，能谱成分分析。

技术指标： 

        1）最大位移行程：X 轴=130mm，Y 轴=130mm，Z 轴=50mm，T=-4°-70°，R= 360°（连续）

2）样品仓尺寸：Φ330mm×270mm，最大样品直径：200mm

3）二次电子分辨率：0.5nm@15kV；0.8nm@1kV；1.0nm@500V

4）能谱仪能量分辨率：Mn Ka 优于127eV

5）元素分析范围：BE4～CF98

6）样品类型：半导体衬底和器件；如果是磁性样品，请提前一周商量

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn