设备名称：徕卡拼图显微镜

设备型号：DM8000M

设备厂家：Leica

设备简介：Leica金相显微镜DM8000M是一款智能电动正置金相显微镜，电动载物台，可承载最大8英寸晶圆，配有5×，10×，20×，50×，100×物镜，具有明场，暗场，斜照明等观察方式，配有600万像素摄像头及分析软件等。

用途：主要用于半导体开发检验系统中过程控制和缺陷分析，可以实现8inch晶圆成像。

技术指标：

1）观察方式：明场、暗场、斜射光、透射光

2）样品尺寸：8inch向下兼容

3）载物台：电动扫描台，202×202mm扫描行程，扫描步进精度为0.01μm

4）拼图能力：涵盖常规几何测量功能，图像采集、图像处理、自动识别、自动拼图

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn