设备名称：原子力显微镜（BRUKER）

设备型号：Dimension Icon

设备厂家：Bruker

设备简介：通过探针扫描的方式，获得样品表面的三维形貌、粗糙度、尺寸结构等信息，获得表面电势、静电力、压电力、导电性等电学信息。

用途：主要用于对纳光电子加工与测试公共平台硅基、三五族、铌酸锂等光电芯片的加工工艺和表征需要的微纳米尺度上的高分辨率形貌测试。

技术指标：

1）测量模式：接触模式、横向力显微镜、轻敲模式、相位成像、智能成像模式、峰值力轻敲模式、力曲线、力曲线阵列等

2）样品台尺寸：210mm；能放置最大样品高度15mm。样品台可真空吸附样品，可360度旋转

3）进针方式：智能自动进针方式，采用压电陶瓷带动探针寻找样品表面的智能进针模式，以保护探针及样品，更容易满足高分辨测试需求

4）扫描器：XYZ方向闭环扫描，XY 方向扫描范围90μm；Z方向扫描范围10μm

5）扫描器结构：采用XYZ集成式、探针上扫描的方式，配有闭环系统，可以准确进行定位。

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn