设备型号：YES 310TA

设备厂家：YES

设备简介：YES 310TA HMDS烘箱是用于半导体光刻工艺设计的预处理设备，采用六甲基二硅胺烷（HMDS）增强晶圆表面附着力。配备精准温控系统（室温-300℃±1℃）、均匀热场（±1.5℃）和智能程序控制，支持8英寸及以下衬底。满足微电子、MEMS和先进封装等领域的高洁净度要求，提升光刻胶涂覆质量和工艺稳定性。

用途：HMDS烘烤，用于涂胶前改善衬底粘附性

技术指标：

1）接触角范围：55-80°

2）晶圆尺寸：8inch及向下兼容，可多片同时处理

3）温度范围：室温-300℃（±1℃）

4）温度均匀性：±1.5℃

5）附着力试剂：六甲基二硅胺烷（HMDS）

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn, gngFab@pku.edu.cn