设备名称：快速真空退火炉 RTP

设备型号：UNITEMP RTP-100

设备厂家：尤尼坦 UNITEMP

技术指标：

1、石英托盘支持100mm晶片大小，4inch晶圆向下兼容；样品厚度最高支持10mm；

2、最高工艺温度：1200℃±1℃（温度测量方式为热电偶，独立温度控制区域6个）

3、最快升温速率为150℃/s；快速降温能力：1200℃降至400℃，约200℃/min；

4、温度均匀性优良：样品表面最大温差小于设定温度的1%；

5、18只红外卤素灯上下两排加热，总功率20千瓦

6、支持退火工艺气体：氧气、氮气、空气

7、支持1E-3 mbar真空度

8、最高支持1200℃ 热处理30s、1100℃ 热处理90s、900℃热处理30分钟、800℃及以下热处理50分钟

设备负责人及联系方式：

陈豪 18737803719 chenh@pku.edu.cn， gngFab@pku.edu.cn