设备名称：台阶仪

设备型号：P17

设备厂家：KLA

设备简介：KLA Tencor® P-17 是第八代台式触针轮廓测量仪，结合了 UltraLite® 传感器、恒定力控制与超平坦扫描台，实现纳米至毫米级（0.001 µm–1000 µm）步高量测，无需拼接即可覆盖直径可达200 mm的样品。该系统支持二维与三维形貌、粗糙度、弯曲（bow）与薄膜应力测量，兼顾研发与量产需求，并提供全自动 SECS/GEM 通信、配方管理与模式识别功能，显著提升测量稳定性与重复性。

用途：用于8inch及以下晶圆/样品的厚度测量，精准测量刻蚀深度、光刻胶厚度及去胶残余、膜层厚度及均匀性。

技术指标：

1）扫描直径：支持最大200mm样品无拼接

2）力控范围：0.03–50mg恒力控制

3）定位精度：±0.5µm（XY）；±0.1µm（Z）

4）步高量程：从几个纳米至1000µm

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875  xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn