设备名称：原子力显微镜（Oxford）

设备厂家：OXFORD AR

设备简介：OXFORD Cypher ES 专为在受控环境下进行纳米级成像和材料表征而设计。它在保持 Cypher S 系列高分辨率、快速扫描和稳定性的基础上，进一步增强了环境控制能力，适用于气体、液体、温度和湿度等多种复杂实验条件。

设备用途：热/电导 AFM，漏电流、接触电阻测量。

技术指标：

1） 分辨率：

（i） XY轴闭环噪音 <60pm;

（ii）开环噪音<10pm Z轴闭环噪音 <50pm;

（iii）开环噪音<5pm

2）扫描范围: XY轴30um，Z轴5um

设备负责人及联系方式：

许清源 15382358875 xuqingyuan@pku.edu.cn，gngFab@pku.edu.cn